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AIM-XY两维压电马达
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AIM-XY两维压电马达AIM-XY两维压电马达可在 XY 轴两个方向上运动，行程4 ｍｍ以上，定位控制精度好于３ Å，非常适合二维平面运动控制调节。 【特点】 ·压电式驱动 ·埃米级分辨率 ·行程大于４ｍｍ ·可在强磁场和（或）超低温环境下使用 【应用】 ·超分辨成像样品运动 ·纳米装备及制造 ·纳米聚焦与扫描 ·主动光学 ·集成电路制造与检测 ·显微及纳米CT ·大范围电子束直写（EBL） ·强磁场和（或）超低温环境下样品精度对准及调姿 【技术参数】
【AIM-XY两维压电马达结构示意图】
＊可根据用户要求定制马达和显微镜镜体 |
