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AIM-金枪鱼压电马达

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AIM-金枪鱼压电马达

AIM-金枪鱼压电马达在不增加尺寸的情况下将压电陶瓷稳定推力提升至1.2 N,行程5 mm以上,且定位控制精度好于3 Å,非常适用于受限空间中大推力毫米范围行程的调整应用。

【特点

·压电式驱动 ·埃米级分辨率 ·行程大于5mm ·推力可达1.2 N ·可在强磁场和(或)超低温环境下使用

【应用

·超分辨成像样品运动  ·纳米装备及制造  ·纳米聚焦与扫描  ·主动光学        ·集成电路制造与检测  ·显微及纳米CT 

·大范围电子束直写(EBL)  ·强磁场和(或)超低温环境下样品精度对准及调姿  ·恶劣条件下高稳定驱动扫描隧道显微镜(STM)镜体

【技术参数】


单位

AIM - 金枪鱼压电马达

运动自由度


X

外径

mm

15

标称行程

mm

5

定位控制精度

Å ± 20%

3

稳定推力

N

0.12

工作温度

K

4 ~ 370


【AIM-金枪鱼压电马达示意图】

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*可根据用户要求定制马达和显微镜镜体

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