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AIM-金枪鱼压电马达
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AIM-金枪鱼压电马达AIM-金枪鱼压电马达在不增加尺寸的情况下将压电陶瓷稳定推力提升至1.2 N,行程5 mm以上,且定位控制精度好于3 Å,非常适用于受限空间中大推力毫米范围行程的调整应用。 【特点】 ·压电式驱动 ·埃米级分辨率 ·行程大于5mm ·推力可达1.2 N ·可在强磁场和(或)超低温环境下使用 【应用】 ·超分辨成像样品运动 ·纳米装备及制造 ·纳米聚焦与扫描 ·主动光学 ·集成电路制造与检测 ·显微及纳米CT ·大范围电子束直写(EBL) ·强磁场和(或)超低温环境下样品精度对准及调姿 ·恶劣条件下高稳定驱动扫描隧道显微镜(STM)镜体 【技术参数】
【AIM-金枪鱼压电马达示意图】
*可根据用户要求定制马达和显微镜镜体 |
