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AIM-壁虎压电马达
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AIM－壁虎压电马达AIM－壁虎压电马达采用长度形变原理，将压电陶瓷稳定推力提升至0.2 Ｎ，且定位控制精度好于３Å。体积小巧，外径仅为6.5 ｍｍ，行程可达５ｍｍ以上，非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。 【特点】 ·压电式驱动 ·小体积 ·埃米级分辨率 ·行程大于５ｍｍ ·可在强磁场和（或）超低温环境下使用 【应用】 ·超分辨成像样品运动 ·纳米装备及制造 ·扫描隧道显微镜（STM）样品操纵 ·纳米聚焦与扫描 ·集成电路制造与检测 ·显微及纳米CT ·大范围电子束直写（EBL） ·主动光学 ·强磁场和（或）超低温环境下样品精度对准及调姿 【技术参数】
【完整环AIM－壁虎马达示意图】
＊可根据用户要求定制马达和显微镜镜体 |
