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AIM-熊猫压电马达
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AIM－熊猫压电马达AIM－熊猫压电马达通过单弹簧片串联压电陶瓷，将压电陶瓷稳定推力提升至0.12 Ｎ，行程５ ｍｍ以上，且定位控制精度好于３ Å，非常适用于受限空间中毫米范围行程的调整应用。 【特点】 ·压电式驱动 ·埃米级分辨率 ·行程大于５ ｍｍ ·可在强磁场和（或）超低温环境下使用 【应用】 ·超分辨成像样品运动 ·纳米装备及制造 ·纳米聚焦与扫描 ·主动光学 ·集成电路制造与检测 ·显微及纳米CT ·大范围电子束直写（EBL） ·强磁场和（或）超低温环境下样品精度对准及调姿 【技术参数】
【AIM－熊猫压电马达结构示意图】
＊可根据用户要求定制马达和显微镜镜体 |
