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详细说明

AIM-堆叠型壁虎压电马达

AIM-堆叠型壁虎压电马达将压电陶瓷稳定推力提升至0.35 Ｎ，行程５ｍｍ以上，且定位控制精度好于３Å，在恶劣条件下高稳定驱动扫描隧道显微镜（STM）镜体可得到高清原子级分辨率，无需减震隔音。

【特点】

·压电式驱动　　·埃米级分辨率　　·行程大于５ｍｍ　　·可在强磁场和（或）超低温环境下使用

【应用】

·超分辨成像样品运动　 ·纳米装备及制造　　·纳米聚焦与扫描　　·主动光学 ·集成电路制造与检测　　·显微及纳米CT　　

·大范围电子束直写（EBL） ·强磁场和（或）超低温环境下样品精度对准及调姿　　

·在恶劣条件下高稳定驱动扫描隧道显微镜（STM）镜体

【技术参数】

【AIM - 堆叠型壁虎马达三维示意图】

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＊可根据用户要求定制马达和显微镜镜体

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