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AIM-旋转压电马达

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AIM-旋转压电马达

AIM-旋转压电马达通过压电陶瓷定位,可控制角度精度好于0.07 °,角度行程非常大,力矩可达1.7 N·cm,非常适用于旋转角度大且精度要求高的器械。

特点

·压电式驱动  ·角度控制精度极好  ·角度行程非常大  ·可在强磁场和(或)超低温环境下使用

【应用】

·超分辨成像样品运动  ·纳米装备及制造  ·纳米聚焦与扫描  ·主动光学  ·集成电路制造与检测  ·显微及纳米CT 

·大范围电子束直写(EBL)    ·强磁场和(或)超低温环境下样品精度对准及调姿  

【技术参数】


单位

AIM - 旋转压电马达

旋转自由度


XY

长·宽·高

mm

35*35*12

旋转行程

°

角度控制精度

°

0.07

力矩

N·cm

1.7

工作温度

K

4 ~ 370


*可根据用户要求定制马达和显微镜镜体


创     新 Innovation                                  驱     动 drive                                协     作 collaboration                                       卓     越 excellence

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